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【摘 要】
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采用射频磁控溅射技术,在石英玻璃衬底上沉积了具有不同层数和厚度的(Si/Ge)n多层薄膜。XRD、Raman光谱测试表明,溅射态薄膜为微晶结构,在溅射过程中层间扩散形成Si-Ge振动键
【机 构】
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南京航空航天大学材料科学与技术学院,
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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2012年01期
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