【摘 要】
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采用毫米量级大光斑的近单模的激光器 ,控制入射薄膜表面的激光能量 ,获得了几种常见单层膜和增透膜的损伤形貌 ,实验结果表明 ,薄膜的损伤可区分为熔化型和应力型两种 ,薄膜
【机 构】
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四川大学电子信息学院!成都,610064,四川大学电子信息学院!成都,610064,西南技术物理所!成都,610041
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采用毫米量级大光斑的近单模的激光器 ,控制入射薄膜表面的激光能量 ,获得了几种常见单层膜和增透膜的损伤形貌 ,实验结果表明 ,薄膜的损伤可区分为熔化型和应力型两种 ,薄膜表面等离子体对损伤斑点的扩大有重要作用。
Near-single-mode lasers with millimeter-scale large speckle are used to control the laser energy on the incident film surface, and the damage morphologies of several common monolayer and antireflection coatings are obtained. The experimental results show that the damage of the film can be divided into the melt type And stress type two, the film surface plasma on the expansion of injury spots play an important role.
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