玻璃——金属全气密性封接研究

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:longman1026
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本文简述了玻璃——金属全气密性高频熔封技术。该技术具有工艺简单、成本低、气密性好、透过率、热稳定性优异等,适合作半导体光电器件光窗帽,也适合于批量生产。 This article describes the glass - metal hermetic high-frequency sealing technology. The technology has the advantages of simple process, low cost, good air tightness, excellent transmittance and excellent thermal stability, and is suitable for a light window cap of a semiconductor optoelectronic device and also suitable for mass production.
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