贴合法制造长波长InGaAs/InP-GaAs/AlGaAs APD

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报道了一种用于长波长新的片直接贴合Ino53Gao.47As/InP—GaAs/Al0.2Ga0.8AsAPD的设计和制造。使用MBE技术,在P+InP衬底上生长掺Be的P型InP薄层,在n+GaAs衬底上生长掺Be的P型GaAs薄层,并对此两薄层界面进行片直接贴合。成功地在1.3、1.55μm的波长分别获得约47%和33%的均匀增益外量子效率,雪崩增益M为25的APD。
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