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视觉检测是半导体贴装设备的核心技术之一,该文重点阐述了视觉检测系统的总体设计,并提出一种检测晶圆偏转角度的有效算法。利用这些图像处理技术对芯片边缘点进行采集,并拟合成直线,从而计算出晶圆的偏转角度。实验结果表明,该系统具有较高的准确度,并且满足系统的实时性要求。
表面贴装晶圆视觉检测技术的研究
【摘 要】
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视觉检测是半导体贴装设备的核心技术之一,该文重点阐述了视觉检测系统的总体设计,并提出一种检测晶圆偏转角度的有效算法。利用这些图像处理技术对芯片边缘点进行采集,并拟合成直线,从而计算出晶圆的偏转角度。实验结果表明,该系统具有较高的准确度,并且满足系统的实时性要求。
【机 构】
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中国科学院合肥物质科学研究院,常州先进制造技术研究所,常州大学
【出 处】
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工业仪表与自动化装置
【发表日期】
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2011年05期
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