【摘 要】
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飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)是目前应用最广泛的表面分析技术之一,是一种具有高质量分辨本领(质量分辨率)和高空间分辨(空间分辨率)的表面分析技术,适用于有机、无机、生
【机 构】
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有机光电子与分子工程教育部重点实验室,清华大学化学系,北京100084
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飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)是目前应用最广泛的表面分析技术之一,是一种具有高质量分辨本领(质量分辨率)和高空间分辨(空间分辨率)的表面分析技术,适用于有机、无机、生物、医学、电子、地质/考古、环境等各种领域的各种固体材料的分析.本文对TOF-SIMS分析技术的发展、原理、基本构成、特点和应用领域等方面做了全面介绍.
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