【摘 要】
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立方氮化硼(c-BN)具有一系列优异的物理化学性质,如高的硬度,宽的带隙,高的电阻率,高的热导率,高的热稳定性、化学稳定性,在力学、光学和电子学等方面有广泛的应用前景。从立方氮化硼薄膜
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立方氮化硼(c-BN)具有一系列优异的物理化学性质,如高的硬度,宽的带隙,高的电阻率,高的热导率,高的热稳定性、化学稳定性,在力学、光学和电子学等方面有广泛的应用前景。从立方氮化硼薄膜的性质,制备方法,目前研究工作的进展,存在的主要问题,以及应用前景等方面介绍这种新型功能材料。
Cubic boron nitride (c-BN) has a series of excellent physical and chemical properties, such as high hardness, wide band gap, high resistivity, high thermal conductivity, high thermal stability, chemical stability, Mechanics, optics and electronics have a wide range of applications. This novel functional material is introduced from the aspects of the properties of cubic boron nitride thin films, the preparation methods, the progress of the present research work, the main problems existing and the application prospects.
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