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Erratum to:A sparse matrix model-based optical proximity correction algorithm with model-based mappi
Erratum to:A sparse matrix model-based optical proximity correction algorithm with model-based mappi
来源 :Journal of Zhejiang University-Science C(Computers & Electro | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiyouyou
【摘 要】
:
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【出 处】
:
Journal of Zhejiang University-Science C(Computers & Electro
【发表日期】
:
2011年07期
【关键词】
:
sparse
correction
proximity
correspond
evaluating
playing
correct
Jacobian
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