【摘 要】
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Martin Marietta实验室已在单片LiTaO_3上制成多达44个元件的线列和二维热电探测器阵列。单片结构可制作复杂的元件图样并减少器件工艺问题。使用离子束研磨技术,LiTaO_3晶
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Martin Marietta实验室已在单片LiTaO_3上制成多达44个元件的线列和二维热电探测器阵列。单片结构可制作复杂的元件图样并减少器件工艺问题。使用离子束研磨技术,LiTaO_3晶片上阵列的灵敏区减薄至2.5微米,而其它区域厚度(作为元件的
Martin Marietta Laboratories has fabricated arrays of up to 44 elements of line and 2D thermoelectric detectors on a single piece of LiTaO_3. The monolithic structure allows the fabrication of complex device patterns and reduces component process issues. Using ion beam milling, the sensitive area of the array on the LiTaO_3 wafer is thinned to 2.5 microns, while the thickness of other areas (as component
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