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半导体行业中超纯水的质控
半导体行业中超纯水的质控
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiangbaolin
【摘 要】
:
USP(《美国药典》)对超纯水的质量有着严格的规定,是半导体厂商良好的参考标准,梅特勒-托利多SevenMulti模块化多功能仪表,内置USP表格,完全满足USP要求。
【作 者】
:
万明球
【机 构】
:
梅特勒-托利多仪器(上海)有限公司
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2004年05期
【关键词】
:
USP
超纯水
电导率
SevenMulti
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USP(《美国药典》)对超纯水的质量有着严格的规定,是半导体厂商良好的参考标准,梅特勒-托利多SevenMulti模块化多功能仪表,内置USP表格,完全满足USP要求。
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