【摘 要】
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大气压磁驱动滑动弧放电能产生具有约束性能较好的非平衡等离子体,在微电子工业、环境工程等领域有广泛的应用前景.利用磁导法对此装置进行了磁路设计,得出了磁感应强度、磁
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大气压磁驱动滑动弧放电能产生具有约束性能较好的非平衡等离子体,在微电子工业、环境工程等领域有广泛的应用前景.利用磁导法对此装置进行了磁路设计,得出了磁感应强度、磁体厚度、气隙长度三者之间的解析表达式.所得出的结果与有限元分析结果进行了比较,偏差约为3.1%,但磁导法简捷方便,通用性强,经济性好,是一种更为可靠而实用的工程算法.
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