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来源 :半导体光电 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
基于电迁移法制备了弯曲形状的铝微米带,可作为连接件直接应用于微机电系统和光电器件中。试验所需试样是一层沉积在TiN层的铝膜,并在铝膜的阳极端制作原子排出孔。试验结果
【作 者】
:
鹿业波
王海燕
【机 构】
:
嘉兴学院机电工程学院,
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2014年01期
【关键词】
:
微米
电迁移法
生长现象
电迁移
铝微米带
铝原子
薄膜
微机电系统
连接件
弯曲生长
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