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【摘 要】
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基于电迁移法制备了弯曲形状的铝微米带,可作为连接件直接应用于微机电系统和光电器件中。试验所需试样是一层沉积在TiN层的铝膜,并在铝膜的阳极端制作原子排出孔。试验结果
【机 构】
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嘉兴学院机电工程学院,
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2014年01期
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