【摘 要】
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提出了一种制作太赫兹矩形波导的方法,即先利用UV-LIGA技术制作出锌牺牲芯模,然后在锌芯模表面镀金、铸铜,最后将锌芯模溶解,成功制作出端面形貌良好的长度17 mm、工作频率1 THz的矩形波导.研究发现,在电镀液pH 6.2、温度40℃、电流密度0.3 A/dm2条件下,电镀金的表面形貌最好.利用工业CT观察波导腔体的溶解情况,发现在水浴温度70℃的2mol/L盐酸溶液下,溶解4天后锌芯模即可全部去除.
【机 构】
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南京航空航天大学机电学院,南京航空航天大学,
【基金项目】
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(江苏省自然科学基金资助项目),
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提出了一种制作太赫兹矩形波导的方法,即先利用UV-LIGA技术制作出锌牺牲芯模,然后在锌芯模表面镀金、铸铜,最后将锌芯模溶解,成功制作出端面形貌良好的长度17 mm、工作频率1 THz的矩形波导.研究发现,在电镀液pH 6.2、温度40℃、电流密度0.3 A/dm2条件下,电镀金的表面形貌最好.利用工业CT观察波导腔体的溶解情况,发现在水浴温度70℃的2mol/L盐酸溶液下,溶解4天后锌芯模即可全部去除.
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