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介绍了压电谐振式微悬臂梁的设计、制作方法和作为质量传感器的工作原理,及其在空气质量检测上的应用.实验结果验证了设计方法正确,制作工艺可行.在特定敏感层的作用下,该传感器对氟利昂气体在500×10-6范围内的响应呈指数衰减,在100×10-6范围内呈线性响应,灵敏度达-0.002 4%×106,最小可测质量为3.5×10-9g.