低压气相生长人造金刚石的热力学耦合理论模型

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激活的化学汽相淀积(CVD)条件下低压生长人造金刚石(以下简称CVD金刚石或金刚石低压气相生长)的研究在80年代就成为世界范围的热点之一.众所周知,碳的平衡相图中,低压下石墨是稳相而金刚石是亚稳相.因此在长时间中没有人能很好地解释为什么会在低压下生长金刚石而不是生长石墨.1990年2月Yarbrough在Science杂志上发表一篇“CVD金刚石的现状和问题”的总结性评论时说:“所有的理论模型(指当时已提出的)至少都 Under the condition of activated chemical vapor deposition (CVD), the research of low pressure growth synthetic diamond (CVD diamond or diamond low pressure vapor phase growth) has become one of the hot spots worldwide in the 1980s.It is well known that in the carbon equilibrium phase diagram, At low pressures, graphite is stationary and diamond is metastable, so no one can explain for a long time why diamond grows under low pressure instead of growing graphite February February Yarbrough in Science magazine published a “ Commenting on the concluding comments on the status and problems of CVD diamonds, said: ”All the theoretical models (at the time, already proposed)
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