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使用溶胶凝胶法在Pt/Ti/SiO_2/Si衬底上生长不同厚度与不同稀土掺杂（Nd,Ce,La）的BiFeO_3（BFO）薄膜,高分辨X射线衍射实验结果表明薄膜是由无择优取向的多晶成份组成,不同厚度和掺杂的薄膜都呈现三方相。对比不同厚度BF0薄膜的结构发现,随着薄膜厚度的增加,薄膜的晶粒尺寸呈现增大的趋势,同时晶格常数也随之增大;比较不同掺杂的薄膜,发现随掺杂原子的离子半径增大（Nd,Ce,La）,薄膜的晶粒尺寸随之减小,同时薄膜的晶格参数变小。这些结果表明在BFO薄膜中存在晶粒尺寸效应,BFO的晶格随着