【摘 要】
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为了满足晶圆制造Interbay物料运输系统的全局优化要求,提出基于复合规则的Interbay物料运输 系统多目标调度方法.充分考虑各运输设备之间的约束关系,建立了 Interbay物料运
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为了满足晶圆制造Interbay物料运输系统的全局优化要求,提出基于复合规则的Interbay物料运输 系统多目标调度方法.充分考虑各运输设备之间的约束关系,建立了 Interbay物料运输系统的多目标调度模型. 提出基于遗传规划的复合规则生成方法,该方法将晶圆工件的属性参数与四种基本运算符号按照二叉树的结构进 行编码,再通过选择、交叉、变异以及基于d-best策略的A-Interchange局部搜索方法,寻找具有最佳适应度的复合 调度规则.为了对大量个体进行快速评价,设计了基于物料运输表的适应度值估算方
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