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建立了一维无碰撞流体动力学模型，针对柱形容器，考察了无附加电极和在中心轴线处放置零电位附加电极两种情况下，空心圆管内部等离子体鞘层的演化过程。得出了各自情况下鞘层中电势分布、离子密度分布，空心圆管内表面离子束流密度分布和离子注入剂量分布．
空心圆管内表面等离子体源离子注入鞘层的数值模拟
【摘 要】
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建立了一维无碰撞流体动力学模型，针对柱形容器，考察了无附加电极和在中心轴线处放置零电位附加电极两种情况下，空心圆管内部等离子体鞘层的演化过程。得出了各自情况下鞘层中电
【机 构】
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大连工业大学信息科学与工程学院,大连船舶重工集团海洋工程事业部
【出 处】
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大连轻工业学院学报
【发表日期】
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2007年2期
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