【摘 要】
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杂质和本征发光强度可反映出掺杂浓度。本文介绍了一种测量６Ｈ－ＳｉＣ中氮杂质的校准方法。该方法对于１０￣（１４）～１０￣（１６）ｃｍ￣（－３）浓度范围内的ｎ型掺杂都是有效的。并对光致发光实验过程中激励强度、温度的影响以及
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杂质和本征发光强度可反映出掺杂浓度。本文介绍了一种测量６Ｈ－ＳｉＣ中氮杂质的校准方法。该方法对于１０￣（１４）～１０￣（１６）ｃｍ￣（－３）浓度范围内的ｎ型掺杂都是有效的。并对光致发光实验过程中激励强度、温度的影响以及与受主有关光谱的观测进行了研究。
Impurity and intrinsic luminescence intensity can reflect the doping concentration. This article describes a calibration method for the measurement of nitrogen impurities in 6H-SiC. This method is effective for n-type doping in the concentration range of 10 ~ (14) ~ 10 ~ (16) cm ~ (-3). The influence of excitation intensity and temperature during photoluminescence experiment and the observation of the spectrum related to the acceptor were studied.
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