【摘 要】
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本文介绍了一个新的工艺模拟程序MICPOS,该程序采用了一套精度较高的解析的和半经验的工艺模型,并采用快速统计试验法成功地优化提取出实际工艺的模型参数.MICPOS用这些模型
【机 构】
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中国科学院微电子中心,中国科学院微电子中心 北京,北京
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本文介绍了一个新的工艺模拟程序MICPOS,该程序采用了一套精度较高的解析的和半经验的工艺模型,并采用快速统计试验法成功地优化提取出实际工艺的模型参数.MICPOS用这些模型参数进行工艺模拟,其结果接近实际工艺的测试结果.
In this paper, a new MICPOS process simulation program is introduced, which uses a set of highly accurate analytical and semi-empirical process models and successfully extracts and models the actual process parameters using fast statistical tests. Model parameters for process simulation, the results close to the actual process test results.
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