PEMSIP法沉积的TiN涂层对硬质合金刀具切削性能的影响

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氮气分压增加使等离子体增强磁控溅射离子镀(PEMSTP)TiN涂层的相组成朝著富氮相及其含量增加的方向发展。由Ti2N和TiN两相组成的涂层硬度最高,可达HK2500;由Ti2N和TiN两相组成的刀具涂层使硬质合金刀具切削力下降,可明显提高刀具使用寿命. The partial pressure of nitrogen increases the phase composition of plasma-enhanced magnetron sputter ion plating (PEMSTP) TiN coating toward the nitrogen-rich phase and its content increase. The coating composed of two phases of Ti2N and TiN has the highest hardness up to HK2500. The tool coating consisting of two phases of Ti2N and TiN reduces the cutting force of the carbide cutting tool, which can obviously improve the service life of the tool.
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