【摘 要】
：
报道了一种利用等离子辅助激光分子束外延技术（L-MBE）在石英衬底上制备IGZO透明导电薄膜的新工艺.该工艺在超高真空中进行,可以有效避免杂质和污染,提高薄膜的纯度和光学、电学
【机 构】
：
西安交通大学陕西省信息光子技术重点实验室
论文部分内容阅读
报道了一种利用等离子辅助激光分子束外延技术（L-MBE）在石英衬底上制备IGZO透明导电薄膜的新工艺.该工艺在超高真空中进行,可以有效避免杂质和污染,提高薄膜的纯度和光学、电学性能.通过优化生长时的气体离化功率,在300W射频功率下,得到光学电学性能优良的非晶态IGZO透明导电薄膜,其可见光范围内透过率超过80%,其室温电子迁移率高达16.14cm2v-1s-1,明显优于目前薄膜晶体管（TFT）中常用的非晶硅和有机物材料.测试结果表明,采用此工艺制备的非晶态IGZO透明导电薄膜,具有优良的光学、电学特性,
其他文献
基于分布式无线视频通信的井下机车监控系统，它采用分布式无线视频通信技术并结合了传统信集闭的信号采集、自动控制等技术，克服井下隧道对无线传输的干扰．能够在提高控制效率的
提出了基于工艺模拟的断裂失效概率计算方法,充分考虑了非理想形貌对失效概率的影响,使得预测结果更加准确.并利用APDL语言对ANSYS进行二次封装,采用VC＋＋开发了可靠度计算程序,
针对以用户目标为驱动的语义服务,提出了一种个性化的检索框架.采用加权概念网络表示用户模型,以概念图的形式定义需求中概念间的语义关联关系,充分表达用户的真实需求.给出
“整整20年了……”刘奇边回忆边感慨。从1990年技校毕业被分配到中国重汽集团大同齿轮有限公司工作以来,他就始终在装配生产一线忙活着,一转眼,刘奇已是人到中年。不过,20年
针对动态模糊关联数据,运用DFS和DFL的理论提出了动态模糊关联规则的定义,并在此基础上进一步给出了面向动态模糊关联数据的一种数据挖掘算法;最后通过实例分析,表明该算法能
火电企业的燃料煤采购成本占生产成本超过70%以上，如何通过对燃料煤供应商的科学管理，构建彼此间的长期战略稳定的合作关系，最大限度的发挥企业间的协同效应，提高火电企业的盈利
低能见度情况下(雾、霾),图像不清晰的主要原因是大气变化的对比度下降,这是由于大气悬浮颗粒散射造成的.针对退化图像中针对针对散射光的分离,在假定图像由独立散射光谱组成的基础上,通过对散射光偏振分析,提出一种盲参数估计分离散射光算法,来实现低能见度图像的复原.实验表明,该算法可以取得较好的复原效果.
提起陕西汽车集团有限责任公司（以下简称陕汽）弘扬的“德”文化。员工殷冲有太多自己的感受。殷冲。2004年毕业于西安理工大学，2006年第一次走进陕汽。从事计划调度工作。因表现