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在流态化CVD法生产多晶硅的过程中发生了无数的均相反应和异相反应,均相反应十分的复杂,生成的无定形硅粉中含有氢键,是硅粉发生爆炸的关键因素。主要介绍了均相反应和异相反应的反应机理和主要影响因素（反应温度、入口硅烷浓度、进料气速、颗粒的平均直径、反应压力、床层高度等）对多晶硅和硅粉的影响规律。
流化床生产多晶硅的研究
【摘 要】
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在流态化CVD法生产多晶硅的过程中发生了无数的均相反应和异相反应,均相反应十分的复杂,生成的无定形硅粉中含有氢键,是硅粉发生爆炸的关键因素。主要介绍了均相反应和异相反
【机 构】
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青岛科技大学化工学院,生态化工国家重点实验室
【出 处】
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当代化工
【发表日期】
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2016年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金,项目号:21276132
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