功率高压稳流源的设计应用

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介绍一种高压电流可调大功率稳流电路的设计方法,电路选用VMOS管作为功率器件。可实现工作电压800V以上或电流达数十安培的稳流电源,使用上限由VMOS管的最大额定值决定。电路简单可靠,可直接串联在直流供电回路中使用。该电路应用于溅射镀膜机上,可较精确地控制多层合金膜镀层。
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