【摘 要】
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本文概要地叙述电子束物理汽相沉积的种类,性能对比,国外发展水平和发展动向,重点说明真空蒸发和离子涂复技术的现状和发展动向,对发展我国电子束汽相沉积产品也提出了一些建
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本文概要地叙述电子束物理汽相沉积的种类,性能对比,国外发展水平和发展动向,重点说明真空蒸发和离子涂复技术的现状和发展动向,对发展我国电子束汽相沉积产品也提出了一些建议。
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