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【摘 要】
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利用电涡流效应和光学三角测量原理 ,研制出光学三角—电涡流复合传感器 ,主要应用于对涂覆在金属体上的非金属层厚度的测量。并且能够满足工业自动检测中高精度和非接触测量要求 ,同时测量范围和精度可随不同的应用要求而进行大范围的调整。讨论了该传感器在工业领域中的一种实际应用 :测量金属圆柱体表面非金属涂层的偏心。
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,精密测试技术与仪器国家重点实验室!北京市100084,清华大学精密仪器与机械学系,精密测试技术与仪器国家重点实验室!北京市100084,清华大学精密仪器与机械学系,精密测试
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2000年04期
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