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单晶硅片是制造集成电路的基础主体功能材料之一，主要应用于制成太阳能电池组件、大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等方面。单晶硅片的规格要求高，制作工艺复杂，产品质量的好坏直接影响着微型电子器件的内在品质。因此对单晶硅片制造过程的质量控制就显得尤为重要，SPC就是一种重要的质量管理工具。本文介绍了SPC的技术原理及其在单晶硅片质量控制中的应用。