【摘 要】
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不久前,由沈阳市科技局主持,在沈阳仪表院召开了科技成果专家鉴定会议。该院“高压束阵式自动清洗系统”、“高压开关SF6气体微水含量传感器及在线监测系统”、“MEMS硅基压
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不久前,由沈阳市科技局主持,在沈阳仪表院召开了科技成果专家鉴定会议。该院“高压束阵式自动清洗系统”、“高压开关SF6气体微水含量传感器及在线监测系统”、“MEMS硅基压力敏感芯片批产工艺技术”三项科研成果经专家鉴定,鉴定委员一致认为:三项目提供的鉴定资料齐全,内容完
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