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【摘 要】
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Sodium beta-alumina(SBA) is deposited on AlGaN/GaN by using a co-deposition process with sodium and Al_2O_3 as the precursors.The X-ray diffraction(XRD) spectru
【机 构】
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The State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electron Scie
【出 处】
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Chinese Physics B
【发表日期】
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2012年12期
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