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【摘 要】
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灰度掩模技术是制作三维微纳结构的有效方法之一,灰度掩模图设计是灰度掩模技术的重要组成部分.目前,在微机械器件制作领域中,通常只给出常用规则形状三维结构对应的灰度掩模
【机 构】
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大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室,
【出 处】
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纳米技术与精密工程
【发表日期】
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2013年02期
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