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【摘 要】
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应用材料公司推出Applied DFinder检测系统,用于在22纳米及更小技术节点的存储和逻辑芯片上检测极具挑战性的互连层。作为一项突破性的技术,该系统是首款采用深紫外(DUV)激光
【出 处】
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半导体信息
【发表日期】
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2011年02期
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