ArF光源腔体温度控制建模与分析

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本文通过采用控制冷却水的流量变化实现Ar F光源腔体的温度控制。首先建立了腔体的热交换模型,并通过分析计算分别得到了腔体内的空气温度和热源、PCW流量、PCW入口温度的传递函数。然后提出了PD模糊控制和模糊自适应PID控制两种复合控制方法,并利用MATLAB分别对它们进行了设计和仿真。最后比较了两种控制器的仿真结果,选择了模糊自适应PID控制法。 In this paper, the temperature control of Ar F light source cavity is realized by controlling the flow of cooling water. First, the heat exchange model of the cavity was established, and the transfer function of air temperature and heat source, PCW flow rate and PCW inlet temperature were obtained through the analysis and calculation respectively. Then proposed two kinds of compound control methods of PD fuzzy control and fuzzy adaptive PID control, and designed and simulated them respectively with MATLAB. Finally, the simulation results of two kinds of controllers are compared and the fuzzy adaptive PID control method is chosen.
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