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本文介绍了MOEMS惯性器件的概念和特点,总结了国内外MOEMS陀螺和MOEMS加速度计的研究方案和研究进展,指出了未来MOEMS惯性器件可能的发展方向和发展前景.
MOEMS惯性器件技术研究进展
【摘 要】
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本文介绍了MOEMS惯性器件的概念和特点,总结了国内外MOEMS陀螺和MOEMS加速度计的研究方案和研究进展,指出了未来MOEMS惯性器件可能的发展方向和发展前景.
【机 构】
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北京航天时代光电科技有限公司
【出 处】
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导航与控制
【发表日期】
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2004年期
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