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Peter Wolters GmbH日前宣布开发采用AC2000双面抛光系统的创新行星式研磨（PPG）技术。以PPG技术制造的硅晶圆比使用其他研磨技术平坦五倍,相较于常规研磨技术,甚至可改善高达3倍之误差值。
Peter Wolters硅晶圆研磨技术生产5倍平坦的晶圆
【摘 要】
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Peter Wolters GmbH日前宣布开发采用AC2000双面抛光系统的创新行星式研磨（PPG）技术。以PPG技术制造的硅晶圆比使用其他研磨技术平坦五倍,相较于常规研磨技术,甚至可改善高达3
【出 处】
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电子与电脑
【发表日期】
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2010年5期
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