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针对变包含角平面光栅单色器前置平面镜（ PM）受热负载而导致的单色器分辨率降低问题，提出优化聚焦常数（ Cf ）补偿分辨率的方法。首先，计算不同Cf值时PM的热功率吸收谱，在此基础上对镜面热负载进行热-结构耦合分析，得到不同热负载时PM表面热变形的变化量；然后，结合理想分辨率公式和光线追迹软件求出加热负载的单色器分辨率；最后，优化Cf实现分辨率的补偿。研究结果表明，以软X射线谱学显微光束线站为例，当出射光能量为1000 eV时，将Cf由1.8优化至1.84，单色器分辨率即可与无热负载时的相同，该优化方法可