【摘 要】
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本文详细地介绍了真空微电子栅极工艺制造的自剥离与无版光刻技术，并用这两种方法分别制造出了符合要求的栅极结构．在现有的条件下进行了栅控场致发射特性的测试，并通过实验曲线
【机 构】
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西安交通大学真空微电子与微电子机械研究所
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本文详细地介绍了真空微电子栅极工艺制造的自剥离与无版光刻技术，并用这两种方法分别制造出了符合要求的栅极结构．在现有的条件下进行了栅控场致发射特性的测试，并通过实验曲线计算出了栅控场致发射的三个参数．
In this paper, the technology of self-peeling and non-plate lithography in vacuum microelectronic gate process is introduced in detail, and the gate structures that meet the requirements are respectively fabricated by these two methods. Under the existing conditions, the field emission characteristics of the gate control were tested, and the three parameters of the field emission of the gate control were calculated through the experimental curves.
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