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压力传感器引线键合金线的振动疲劳研究

来源 :传感器世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yxl122702985
【摘 要】
：
本文对一种汽车用MEMS压力传感器中的键合金线,在加速振动试验时的疲劳情况进行了研究.首先简单介绍了MEMS压力敏感芯片引线键合以及引线的基本情况,然后利用有限元方法对引
【作 者】
：
肖沛红 付兴铭 谭六喜 姚媛 
【机 构】
：
东风襄樊仪表系统有限公司研发部,上海飞恩微电子有限公司
【出 处】
：
传感器世界
【发表日期】
：
2004年期
【关键词】
：
压力传感器 引线键合 疲劳 有限元分析 
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本文对一种汽车用MEMS压力传感器中的键合金线,在加速振动试验时的疲劳情况进行了研究.首先简单介绍了MEMS压力敏感芯片引线键合以及引线的基本情况,然后利用有限元方法对引线在20g的加速振动下的疲劳和寿命进行了分析,并利用了概率上的冗余理论对键合工艺提出了改进,最后给出了实际的结果,证实了模拟和改进工艺的合理性.
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