【摘 要】
：
通过使用不同冷却系统的离子注入机台(昆腾和GSD200),调整靶盘的转速等实现离子注入温度的改变,研究NPN晶体管发射极离子注入温度对NPN晶体管的影响。实验结果表明离子注入温
【基金项目】
：
上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金(1500223).
论文部分内容阅读
通过使用不同冷却系统的离子注入机台(昆腾和GSD200),调整靶盘的转速等实现离子注入温度的改变,研究NPN晶体管发射极离子注入温度对NPN晶体管的影响。实验结果表明离子注入温度越高,NPN晶体管的电流增益会随之降低。热波法检测结果显示离子注入温度越高,硅晶圆表面注入损伤越严重,注入损伤会使载流子迁移率下降,少子寿命降低,从而降低了双极晶体管发射极的注入效率,导致NPN双极结型晶体管的共射极的电流增益变小。
其他文献
公开招聘是深化事业单位人事制度改革的重要内容，是规范事业单位进人行为，提高进人质量的重要制度保障。作为继公务员实行考试录用制度之后，干部人事制度改革的又一项“阳光工程
目的探讨住院心力衰竭患者的预后相关因素。方法回顾性分析2008—2011年我院心内科住院的312例心力衰竭患者的临床资料，采用χ2检验、成组t检验以及mann—whitneyU检验比较存
集成电路高速发展,为产业发展提供技术支撑。我国集成电路正处于大发展时期,可为化合物半导体产业提供先进技术支撑。相对于硅材料,化合物半导体性能更加优异,制作出的器件相
西部地区是我国经济相对落后的多民族地区,随着西部大开发战略的实施,如何抓住新的机遇,正确处理好生态环境建设与农村经济发展的关系,逐步实现脱贫致富的目标已引起了社会各