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通过激光烧蚀电感耦合等离子体质谱（LA-ICP-MS）对标准样品表面进行四点定点分析,从而得到校准曲线,再利用得到的校准曲线对断口表面进行扫描分析,根据样品移动台的精确定位得到样品表面的位置信息,用激光器的聚焦位置来模拟样品表面的深度信息,描述了样品的表面形貌,从而得到样品表面元素原位统计分布分析状况,实现了对非平面表面元素的原位统计分布分析表征。利用本文的方法对一低合金钢冲击试样断口表面的16种元素进行原位统计分布分析,结果表明：断口表面各位置的元素含量统计分布基本符合正态分布,唯Al、Zr、Nb的统计