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【摘 要】
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在集成电路芯片制造中,激光被广泛应用于缺陷扫描或者相关的光学量测工具中。未见报道低功率的缺陷扫描时,输出功率仅数百毫瓦且扫描速度很快时,会对熔点达1420℃上的硅芯片
【机 构】
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昆明理工大学机电学院,中芯国际集成电路制造有限公司 云南昆明610031 中芯国际集成电路制造有限公司,上海201203,上海201203
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2007年08期
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