【摘 要】
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通过对横向电压型压力传感器上电势分布的数值分析得到了在各种器件几何尺寸情况下,电源电压、引出臂和输出电极的短路作用对灵敏度以及线性度的影响,提出了器件几何图形的最
【机 构】
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复旦大学电子工程系,复旦大学电子工程系 一九八四级硕士研究生
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通过对横向电压型压力传感器上电势分布的数值分析得到了在各种器件几何尺寸情况下,电源电压、引出臂和输出电极的短路作用对灵敏度以及线性度的影响,提出了器件几何图形的最优化设计。
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