用于曲面精密检测的新型光纤三角传感器研究

来源 :光学学报 | 被引量 : 5次 | 上传用户:shiqingshuicai
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基于光纤传感技术和三角测量方法 ,提出了一种用于曲面检测的新型光纤三角传感器。根据所设计的轮辐式接收光纤结构 ,可以在测量曲面与传感头间位移时 ,首先获取被测点处微面元的倾斜信息 ,以便对传感器测量值进行实时误差修正 ,从而解决了被测表面倾斜对坐标测量带来的影响。该传感器还能有效地消除环境光干扰、光源波动、表面反射率变化等对测量带来的影响。建立了传感器测量的数学模型。理论分析和初步的实验结果证明了系统的有效性和实用性。该传感器系统不稳定性好于 0 .3% ,横向分辨率好于 8μm ,高度分辨率好于
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