Computation of Capacitance for MEMS Comb-Drive Structures

来源 :Journal of Beijing Institute of Technology | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhjipi07

【摘要】

：

According to the characteristics of comb-drive structures, the electrical potential field is analyzed; the model based on corner capacitor is presented and solv

【作者】

：

李明辉高世桥刘海鹏梁新建

【机构】

：

SchoolofAerospaceScienceandEngineering

【出处】

：

Journal of Beijing Institute of Technology

【发表日期】

：

2009年1期

【关键词】

：

非线性电容驱动结构 MEMS 平行板电容器计算有限元方法电容特性边缘效应 comb-drive edge effect comer capacit

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According to the characteristics of comb-drive structures, the electrical potential field is analyzed; the model based on corner capacitor is presented and solved with the capacitance characteristic formula of nonlinear capacitor. Compared with the result

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