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【摘 要】
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日本某家计测控制系统公司研制成功一种比老产品精度高10倍的表面检查装置,商品名为“Laser profiler”。该装置使用红外激光,能以0.01μm量级的精度测定物质表面处的凹凸。
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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1993年11期
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