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在MEMS领域，微梁广泛应用于各种器件及材料参数的提取中，但是由表面微加工工艺制成的单层台阶型锚，往往不能使微梁满足理想固支的边界条件，从而给器件设计和材料参数的提取带来较大的误差．为了解决这一问题，文中提出了一种结构新颖的锚，经Coventorwear软件模拟表明，该锚能提供接近理想固支的边界条件．