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将MEMS技术用于自适应光学系统具有重大意义.本文从原理及制作工艺上论述了几种新型的可变形反射镜,为下一步的深入研究打下基础.
用于自适应光学系统的几种新型可变形反射镜
【摘 要】
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将MEMS技术用于自适应光学系统具有重大意义.本文从原理及制作工艺上论述了几种新型的可变形反射镜,为下一步的深入研究打下基础.
【机 构】
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华中科技大学光电子工程系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2004年5期
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