【摘 要】
：
为了将兆声引入化学机械抛光,进一步提高抛光效率,深入研究了化学机械抛光中兆声对抛光液流动的影响。首先测试抛光头工作表面的轴向振幅,再观察兆声致抛光液流动现象,最后对
【机 构】
：
辽宁工业大学振动工程研究所,辽宁工业大学理学院
【基金项目】
：
辽宁省教育厅高校基本科研业务费项目(JL201615408),辽宁省科学技术计划项目(2015020159)资助.
论文部分内容阅读
为了将兆声引入化学机械抛光,进一步提高抛光效率,深入研究了化学机械抛光中兆声对抛光液流动的影响。首先测试抛光头工作表面的轴向振幅,再观察兆声致抛光液流动现象,最后对抛光头中声场和兆声致流场进行理论分析。利用流体力学理论分析讨论兆声致抛光液流动的机理。测试结果表明:抛光头工作表面振动频率为1.7MHz,振幅沿径向减小并伴有振荡,中心处最大振幅接近70nm,这与计算结果基本一致。兆声致抛光液流动实验表明:兆声能有效激励抛光液使其从抛光垫微孔中涌出,涌出量逐渐增大,但流量逐渐减小,渐近至零。这一结果可由兆声致流
其他文献
简要综述了光胁迫与玉米的生长发育、形态建成、光合特性、光合关键酶及产量之间的关系,概括总结了玉米光胁迫研究方面存在的问题,并分析了本领域研究的意义及前景.
从生物信息学在基因分析和基因鉴定方面,结合生物信息学的应用实例和作物抗性研究的特点,对其在作物抗性研究中的应用进行了综述和展望.
断层纵向水侵严重影响气藏地质储量动用甚至报废气井,开展断层水侵研究关系气藏开发成败,现有断层水侵研究主要集中在水侵数学方程建立与求解的理论层面及断层复杂形态描述等
以西部地区11个中心城市为样本，选择了6大类25个评价指标，运用因子分析方法，提炼出4个影响投资环境的公共因子，给出这些城市投资环境的综合得分及其排序，并对各城市投资环境的状况
综述了适宜不同类型区土地的垄作栽培模式,及垄作对土壤系统的改良、个体生长发育的促进和作物产量品质的提高等作用,并提出了需进一步研究的问题.