【摘 要】
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为了实现2维非耦合纳米驱动控制,介绍了一种基于压电陶瓷驱动和柔性筋板导向的一体化新型纳米级微动平台的结构设计.重点介绍了运用解析计算方法对平台结构力学特性的分析研
【机 构】
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中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室,中国科学院研究生院
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（60635040）.
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为了实现2维非耦合纳米驱动控制,介绍了一种基于压电陶瓷驱动和柔性筋板导向的一体化新型纳米级微动平台的结构设计.重点介绍了运用解析计算方法对平台结构力学特性的分析研究,得出了该平台导向筋板弱截面处的最大应力以及主体机构的基频值,并通过有限元仿真验证了解析计算结果的正确性.最后,采用显微视觉技术,进行了微动平台动态运动性能的测试实验,给出了平台的动态输入输出特性曲线.
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