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介绍了热载流子引起MOS器件退化的机制及其退化模型、最大应力模式和典型的寿命预测模型等,并对器件退化的表征技术进行了概述.
MOSFET的热载流子效应及其表征技术
【摘 要】
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介绍了热载流子引起MOS器件退化的机制及其退化模型、最大应力模式和典型的寿命预测模型等,并对器件退化的表征技术进行了概述.
【机 构】
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北京大学微电子学研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2003年5期
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