β-FeSi_2薄膜的反应沉积外延膜的剖面结构分析

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β-FeSi2薄膜的反应沉积外延膜的剖面结构分析倪如山王连卫沈勤我林成鲁(中国科学院上海冶金研究所,上海200050)由于β-FeSi2具有Eg=0.850.87eV的直接带隙,并能在硅表面外延,被认为是一种潜在的光电子材料,为实现光电子器件与VLS... β-FeSi2 Thin Films Ni Rushan Wang Lianwei Shen Qin I Lincheng Lu (Shanghai Institute of Metallurgy, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050) Since β-FeSi2 has a direct band gap of Eg = 0.850.87eV, And can be epitaxial on the silicon surface, is considered as a potential optoelectronic material for realizing optoelectronic devices with VLS ...
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